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近日，有科學(xué)院微電子研究所微波器件與集成電路研究室，太赫茲器件研究組研制出截止頻率達(dá)到3.37THz的太赫茲肖特基二極管，和應(yīng)用于太赫茲頻段的石英電路。該器件作為太赫茲倍頻器核心元件，經(jīng)中電集團(tuán)41所驗證，性能與國際同類產(chǎn)品相當(dāng)。
據(jù)了解，太赫茲波指的是頻率在0.1THz至10.0THz范圍的電磁波，被美國評為“改變未來世界的十大技術(shù)”之一。它在安全檢查、無損探測、天體物理、生物以及軍事科學(xué)等諸多科學(xué)領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。具有極高截止頻率的肖特基二極管能夠在室溫下實現(xiàn)太赫茲波的混頻、探測和倍頻，是太赫茲核心技術(shù)之一。
由微電子所研究員金智領(lǐng)導(dǎo)的研究組針對太赫茲電路的關(guān)鍵技術(shù)開展研究，突破多項關(guān)鍵制作工藝，有效地降低了器件的串聯(lián)電阻和寄生電容，實現(xiàn)了可在太赫茲頻段應(yīng)用的肖特基二極管，其最高截止頻率達(dá)到3.37THz，可廣泛應(yīng)用于太赫茲波的檢測、倍頻和混頻。
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